Đầu thế kỷ 17, chúa Hiền (Nguyễn Phúc Tần), con thứ hai của Thượng vương, đánh đuổi quân Chiêm Thành đến phía đông sông Phan Rang, đặt làm hai phủ Thái Khang và Diên Ninh, đặt dinh Thái Khang ở phía tây sông, vẫn cho lệ thuộc vào nước Chiêm Thành, chỉ ràng buộc quốc vương Chiêm Thành là Bà Tâm hàng năm phải cống nộp.

Đến đời Minh vương (Nguyễn Phúc Chu), con truởng là Nghĩa vương (chúa Ngãi) đem quân đánh Chiêm Thành, bắt chúa Chiêm là Bà Tranh, lấy đất đặt làm trấn Thuận Thành.

Năm 1693, chúa Minh lập địa danh hành chính là đạo Phan Rang, thuộc dinh Bình Thuận, sau là Trấn Bình Thuận rồi Thuận Thành.

Năm Minh Mệnh thứ 13, nhà Nguyễn bỏ trấn Thuận Thành lập phủ Ninh Thuận và Phủ Hàm Thuận. Phủ Ninh Thuận có hai huyện là An Phước và Tuy Phong.

Năm Đồng Khánh thứ 3 (1888), huyện An Phước nhập vào tỉnh Khánh Hòa.